真空管式爐充工作氣體方法

● 使用氫氣作為工作氣體時(shí) 

1. 接通氫氣氣路，對(duì)各接頭處用肥皂水檢漏，確認(rèn)不漏氣。 

2. 確認(rèn)各閥門(mén)處于關(guān)閉狀態(tài)。 

3. 逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)旋鈕開(kāi)氫氣瓶主閥，順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開(kāi)出口減壓閥，使出口氣壓在-0.1MPa。 

4. 接通機(jī)械泵電源，打開(kāi)管式爐出口閥和機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門(mén)，抽5分鐘。 5. 關(guān)閉機(jī)械泵氣路上的兩個(gè)閥門(mén)，關(guān)閉管式爐出口閥門(mén)，關(guān)機(jī)械泵。 6. 逆順時(shí)針打開(kāi)上氣路控制閥，使箭頭指向“開(kāi)"位置。 7. 逆順時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，使示數(shù)在20ml/min。 

8. 逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，直至氣壓表讀數(shù)為零。 9. 打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，打開(kāi)氫氣氣路上的紅色出口閥門(mén)。 

10. 在通氫氣滿(mǎn)十分鐘后，才能開(kāi)始加熱管式爐。加熱前，逆時(shí)針調(diào)節(jié)流量計(jì)旋鈕，使錐形

瓶中氣泡出現(xiàn)的速度為2個(gè)/秒鐘。

●使用惰性氣體作為工作氣體時(shí)：

1. 接通工作氣體氣路，將管式爐氣體出口端連接機(jī)械泵。 2. 打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥，合上真空泵電源，打開(kāi)出氣閥（注意把住法蘭，避免爐管受力過(guò)大），抽空剛玉管和氣體管路。 

3. 當(dāng)管式爐真空表到-0.1（指針到盡頭時(shí)），關(guān)閉出氣閥，關(guān)閉進(jìn)氣閥。 

4. 逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕開(kāi)氣瓶主閥，順時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開(kāi)出口減壓閥，使出口氣壓在0.004MPa（2小格）。 5. 逆時(shí)針旋動(dòng)旋鈕，緩慢打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥；密切注意管式爐氣壓表，確認(rèn)氣壓在0.08MPa以下（如氣壓**0.08MPa，打開(kāi)管式爐出氣閥放氣）。 

6. 管式爐氣壓表當(dāng)氣壓穩(wěn)定時(shí)，關(guān)閉管式爐進(jìn)氣閥，打開(kāi)出氣閥，抽真空到-0.1，關(guān)管式爐出氣閥。 

7. 重復(fù)4、5步兩次。 

8. 關(guān)機(jī)械泵，打開(kāi)管式爐進(jìn)氣閥。